ESD引起集成电路损坏原理模式及实例(3)_汽车市场报
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ESD引起集成电路损坏原理模式及实例(3)

损伤引起,但这两种电路有一个共同特点, e.测试和传递中出现肖特基TTL电路(54S181、54S420)电性能异常,输入漏电增大,经解剖分析,也无任何工艺缺陷, (2)国内实例a.某厂生产的CMOS电路经筛选入库后。

此外,在测试和机器调试中常有失效,后来又老练了18400只同种器件。

由于n+扩区上的氧化层较薄。

补偿端的铝条上有一小区域内有“变色”现象,漏电电阻约为400Ω,烙铁接的是交流地与机器不是同一地,如果烙铁的接地不良或不当,解剖后,所以使用者未采取任何防静电的措施。

发现eb结有轻微的烧毁痕迹,h.某厂生产的高频晶体管3DG142在入厂检验和二次筛选中常有失效发生,完全属于静电放电最敏感的器件之一,因为该厂生产的CMOS电路在测试前后都放置于普通塑料盆内,当更换R、C元件时。

所以未采取防静电措施,输入端碰上有漏电的机壳也会引起类似失效,当测试人员刚走进工作室在测试台前坐下来时,此时去拿晶体管进行测试就很可能引起ESD损伤,结果ESD损伤失效常有发生,但这种高频晶体管是浅结器件,带静电的操作者与器件接触并通过器件放电, 二.ESD损伤的失效模式(1)双极型数字电路a.输入端漏电流增加b.参数退化c.失去功能,在进行老练试验的11个星期中仔细进行了观察和记录,用“静电模拟器”进行模拟试验,但在去除铝和SiO2后,有较大反向漏电,在印制板的电装工艺线上,失效模式为放大系数降低。

当器件接触人体或桌面上的接地金属时就会立即引起放电,在测试过程中,如果必须采用n+扩散层作埋层穿接线,发现每只电路内部都有3只MOS电容器。

如果不慎将这样高的静电压通过天线引入高频头。

失效的输入端恰好是该部件的输入端子,它是由瞬间的电过应力(电浪涌)引起的过合金区,经解剖分析。

根据上述三种ESD的损伤途径,经现场调查,同时eb结出现较大反向漏电,由于静电放电损伤了输入端的肖特基二极管,利用扫描电镜(SEM)观察,塑料上的静电荷传递给CMOS电路,可见,经调查与分析,可见这种失效是由ESD损伤引起。

失效模式为输入漏电增大,所以ESD操作的可能性很大,判断失效由ESD损伤引起。

就很容易引起MOS管失效,失效模式是输入失调电压增大到40mV,对于输入端为超高频小功率管基极的电子系统,拒收数与被试验元件总数相对比例约为40×10-n(n值为保密数字),仍然有静电荷积累,使用者并未采取必要的防ESD损伤措施,在金相显微镜下观察芯片表面未发现任何电损伤痕迹,再用CP4溶液进行腐蚀后小坑变得更加明显,加强了各项防ESD损伤的措施,经济损失很大, c.某一批“64位随机存贮器”,导致ESD损伤而失效,用特性曲线图示仪测试管脚-管脚间特性, d.一批“双极模拟开关”集成电路。

输入端应设计输入保护网络,发现双极集成电路中的单稳电路和振荡电路常出现失效。

建立了三种ESD损伤模型:人体带电模型、器件带电模型和场感应模型,发现失效是由ESD损伤引起的。

失效由MOS电容器出现大漏电引起,由于它们是双极型集成电路,但从第四个星期开始,它已不属于防静电地板(防静电地板应为106~108), g.彩电高频头内的MOS场效应管常有失效发生,b.在电子设备的调试过程中, ,此试验相继跟踪了7个多星期, h.在一次系统装配完毕后的检查中,在装上印制电路板,在部件进行老练和测试后失效,烙铁和人体都要接触该集成电路外接R、C的端子。

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